弊社での標準設定(お客様の指示がない場合)のエア源はMP-40です。
弊社での標準設定(お客様の指示がない場合)の真空源はDOP-80Sです。
※ 到達真空度は0 torrを−101.3 kPaとしています。
※ 真空ポンプの脱気能力はメーカーカタログ値です。
A
標準タイプ
エア源:MP-40
排気速度:28 L/min
通常圧力:0.31~0.33 MPa、
リリーフ弁設定値
質量:8 kg
製品名 |
VG-602-AH VG-402-AH VG-602-AH-10W VG-402-AH-10W |
VG-602-AD VG-402-AD VG-602-AD-10W VG-402-AD-10W |
VG-602-AE VG-402-AE VG-602-AE-10W VG-402-AE-10W |
VG-602-AG VG-402-AG VG-602-AG-10W VG-402-AG-10W |
真空源 |
DOP-80S |
G-50SA |
G-101S |
DA-60S |
真空源・ |
80 |
50 |
100 |
60 |
到達真空度 kPa |
−96 |
−101.3 |
−101.3 |
−80 |
真空源質量 kg |
7 |
11 |
22 |
12 |
B
主にクリーンルームなどで使用するタイプ
エア源:DOA-P501-DB
排気速度:31 L/min
通常圧力:0.31~0.33 MPa、
リリーフ弁設定値
質量:7 kg
製品名 |
VG-602-BH VG-402-BH VG-602-BH-10W VG-402-BH-10W |
VG-602-BD VG-402-BD VG-602-BD-10W VG-402-BD-10W |
VG-602-BE VG-402-BE VG-602-BE-10W VG-402-BE-10W |
VG-602-BG VG-402-BG VG-602-BG-10W VG-402-BG-10W |
真空源 |
DOP-80S |
G-50SA |
G-101S |
DA-60S |
真空源・ |
80 |
50 |
100 |
60 |
到達真空度 kPa |
−96 |
−101.3 |
−101.3 |
−80 |
真空源質量 kg |
7 |
11 |
22 |
12 |
C
外部エア供給タイプ
エア源:外部よりエアを本体に供給
通常圧力:0.75 kW 80 L/min以上、圧力設定値:0.35 MPa
上記能力に適合するコンプレッサーが別途必要
質量:- - -
製品名 |
VG-602-CH VG-402-CH VG-602-CH-10W VG-402-CH-10W |
VG-602-CD VG-402-CD VG-602-CD-10W VG-402-CD-10W |
VG-602-CE VG-402-CE VG-602-CE-10W VG-402-CE-10W |
VG-602-CG VG-402-CG VG-602-CG-10W VG-402-CG-10W |
真空源 |
DOP-80S |
G-50SA |
G-101S |
DA-60S |
真空源・ |
80 |
50 |
100 |
60 |
到達真空度 kPa |
−96 |
−101.3 |
−101.3 |
−80 |
真空源質量 kg |
7 |
11 |
22 |
12 |