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真空ポンプ・エア源選択肢:組み合わせ別仕様表
VG-602、VG-402シリーズ

「 エア源・真空源選択」解説はこちら

弊社での標準設定(お客様の指示がない場合)のエア源はMP-40です。
弊社での標準設定(お客様の指示がない場合)の真空源はDOP-80Sです。

 到達真空度は0 torrを−101.3 kPaとしています。

 真空ポンプの脱気能力はメーカーカタログ値です。

A
標準タイプ

エア源:MP-40
排気速度:28 L/min
通常圧力:0.31~0.33 MPa、 リリーフ弁設定値
質量:8 kg

製品名

VG-602-AH

VG-402-AH

VG-602-AH-10W

VG-402-AH-10W

VG-602-AD

VG-402-AD

VG-602-AD-10W

VG-402-AD-10W

VG-602-AE

VG-402-AE

VG-602-AE-10W

VG-402-AE-10W

VG-602-AG

VG-402-AG

VG-602-AG-10W

VG-402-AG-10W

真空源

DOP-80S

G-50SA

G-101S

DA-60S

真空源・
脱気速度 L/min

80

50

100

60

到達真空度 kPa

−96

−101.3

−101.3

−80

真空源質量 kg

7

11

22

12

B
主にクリーンルームなどで使用するタイプ

エア源:DOA-P501-DB
排気速度:31 L/min
通常圧力:0.31~0.33 MPa、 リリーフ弁設定値
質量:7 kg

製品名

VG-602-BH

VG-402-BH

VG-602-BH-10W

VG-402-BH-10W

VG-602-BD

VG-402-BD

VG-602-BD-10W

VG-402-BD-10W

VG-602-BE

VG-402-BE

VG-602-BE-10W

VG-402-BE-10W

VG-602-BG

VG-402-BG

VG-602-BG-10W

VG-402-BG-10W

真空源

DOP-80S

G-50SA

G-101S

DA-60S

真空源・
脱気速度 L/min

80

50

100

60

到達真空度 kPa

−96

−101.3

−101.3

−80

真空源質量 kg

7

11

22

12

C
外部エア供給タイプ

エア源:外部よりエアを本体に供給
通常圧力:0.75 kW 80 L/min以上、圧力設定値:0.35 MPa
上記能力に適合するコンプレッサーが別途必要
質量:- - -

製品名

VG-602-CH

VG-402-CH

VG-602-CH-10W

VG-402-CH-10W

VG-602-CD

VG-402-CD

VG-602-CD-10W

VG-402-CD-10W

VG-602-CE

VG-402-CE

VG-602-CE-10W

VG-402-CE-10W

VG-602-CG

VG-402-CG

VG-602-CG-10W

VG-402-CG-10W

真空源

DOP-80S

G-50SA

G-101S

DA-60S

真空源・
脱気速度 L/min

80

50

100

60

到達真空度 kPa

−96

−101.3

−101.3

−80

真空源質量 kg

7

11

22

12

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