「クリーン度クラス1000対応」解説
クリーン度の評価基準:
国際的な米国連邦規格209D(U.S.Fed.std.209D)に従ってクリーン度はサンプリング1 cfm中の0.5 μm以上の粒子の数をもって評価します。
(単位:cfm=cubic feet per minute 立方フィート/分)
「クリーン度クラス1000対応」定義
CR-600は、クリーンブース内でクリーン度測定器によるクリーン度検査を行い、測定結果の値がクラス1000以下であることを確認した後、フィルムで密封し、出荷いたします。